主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 254-255
レーザドップラ振動計の国家標準にトレーサブルな国際校正規格(ISO 16063-41)として、参照加速度センサを用いた比較校正により20kHzまで定められている一方で、MHzオーダまでの校正方法が求められている。今回、基準となるレーザ干渉計とレーザドップラ振動計のそれぞれのビームを同一の電気光学変調器に入射して、超高周波領域におけるレーザドップラ振動計の周波数応答を評価したので、その報告を行う。