精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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超高周波領域におけるレーザドップラ振動計の評価手法の検討
レーザドップラ振動計を用いた振動加速度標準の拡張に向けて
*野里 英明穀山 渉下田 智文稲場 肇
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p. 254-255

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抄録

レーザドップラ振動計の国家標準にトレーサブルな国際校正規格(ISO 16063-41)として、参照加速度センサを用いた比較校正により20kHzまで定められている一方で、MHzオーダまでの校正方法が求められている。今回、基準となるレーザ干渉計とレーザドップラ振動計のそれぞれのビームを同一の電気光学変調器に入射して、超高周波領域におけるレーザドップラ振動計の周波数応答を評価したので、その報告を行う。

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