精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第8報)
ナノ粒子自己組織化基板による超解像
*管 一兆増井 周造出島 秀一門屋 翔太郎道畑 正岐高橋 哲
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p. 291-292

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抄録

構造照明顕微鏡法(SIM)は光学イメージングの回折限界を超える超解像技術である。本研究では、高空間周波数パターン照明を生成する金ナノ粒子基板を提案・検証し、異なる照明条件下でナノ粒子配列のシミュレーションを行い、高周波数パターンの制御を確認。Blind-SIMを用いた超解像再構築により、150nmの回折限界を大幅に超える60nm解像度を達成した。

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© 2024 公益社団法人 精密工学会
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