主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 291-292
構造照明顕微鏡法(SIM)は光学イメージングの回折限界を超える超解像技術である。本研究では、高空間周波数パターン照明を生成する金ナノ粒子基板を提案・検証し、異なる照明条件下でナノ粒子配列のシミュレーションを行い、高周波数パターンの制御を確認。Blind-SIMを用いた超解像再構築により、150nmの回折限界を大幅に超える60nm解像度を達成した。