ミリ波空洞共振器を用いた金属微粒子検知システムの開発

抄録

糸状体・流体・粉体をミリ波帯域で共振する空洞共振器内に通過させることで、これらの中に含まれる金属微粒子を検知する金属微粒子検知システムを開発した。本システムは、共振器内部を金属異物が通過するとき、金属微粒子によって共振器内の電界強度の変化を共振周波数のシフト量でとらえるものである。本システムにより、共振器の中を通過する径2μm、長さ1mm以上の金属を検知できることを確認した。