干渉光学系による多孔質表面上のサブ100 nm粒子計測に関する研究

第二報　マイクロ孔内部表面のシリカ粒子検出

抄録

マイクロ孔表面に付着したナノ粒子は、一般的な光学的観察手法である暗視野観察では検出困難である。これは、孔エッジの散乱光により、付近のナノ粒子が覆い隠されること、入射光が孔内部全体を照明困難なことが要因である。そのため、光干渉法によるナノ粒子観測を試みている。本稿では、孔内部表面に見立てた傾斜基板表面上のナノ粒子を検出・評価したのち、マイクロ孔内部表面のシリカ粒子の検出を試みたので報告する。