集束式重イオンマイクロビームの大気中ビームサイズの迅速評価方法の検討：CR-39のエッチング時間短縮，及び半自動画像処理

抄録

集束式重イオンマイクロビームの大気中でのビームサイズの迅速評価を目的として，固体飛跡検出器CR-39のエッチング時間の短縮，ImageJを用いたエッチピットの半自動画像処理，及びSRIMによるビームサイズの予測方法について検討した。その結果，従来の作業時間に対してエッチング時間，大気中ビームサイズの評価をそれぞれ1/12，1/30まで短縮化することができた。更に，ビームサイズの予測に成功した。本方法は将来の集束式重イオンマイクロビーム運用において十分な実用性を持つ優れた方法であることを確認した。