高エネルギー窒素イオン注入による鉄鋼表面改質

抄録

鉄鋼材料への高エネルギー (MeV) 領域による窒素イオン注入効果を検討した。注入エネルギー1.5, 3.0, 4.5MeV, 注入量を8×10¹⁷ion/cm²とし, タンデム型イオン加速器により試料に注入した。
注入効果をビッカース硬さ計, ボールオンディスク摩擦摩耗試験機により検討し, 注入イオンの深さ分布と化学結合状態を二次イオン質量分析, X線光電子分光分析により分析した。その結果, 注入イオンの深さ方向分布が明らかになり, 注入層では窒化物が形成されていた。また, 硬さの上昇, 耐摩耗性の向上が確認された。