ワイブル分布を仮定したLSIのスクリーニング時間決定方法の検討(第10回信頼性シンポジウムREAJ)

抄録

半導体メーカーにおいては従来よりバーインによりスクリーニングを実施しているが、近年バーインでの不良の収束性の悪い(複合ワイブル分布ではなく、初期不良分布をとる)デバイスが現れてきている。そこで、このような初期不良型の分布をしているデバイスに対するバーイン時間計算法の検討を行った。著者らは以前にこのような分布を取る場合の簡便な計算法について報告しているが、今回はこの簡易計算法の検証およびバーイン時間に対するパラメータ依存性についてシミュレーションを行った。