Siパワー半導体の現状と信頼性 : 故障前解析の紹介(パワー半導体の現状と信頼性)

抄録

Siは,特性向上のための微細化や新型接合構造の導入などを継続しながら半世紀にわたって使用されている半導体デバイス材料である.一方の応用面でも,電気自動車のような新しい用途が拡大している.それらに伴って過去の事例とは異なる故障モードの不具合も発生する.本稿では今後,未知の故障モードを解決するための1つのツールとなる可能性がある,故障前解析の手法を紹介する.