LSI の品質を確保すべくどのようにテストするか

抄録

もののインターネット（IoT：Internet-of-Things）の広がりとともに LSI の利用分野はどんどん拡大し ており，国際会議での「LSI 分野は歴史上で最もエキサイティングな時期を迎えている」という発言が 何の疑問もなく耳に入るようになってきている．一方では，半導体の微細化が限界に近づきつつあると は言うものの，異種集積なども含めて LSI の複雑化は留まるところを知らない．このため，LSI のテス トはますます困難な問題となっており，テストコストクライシスがいよいよ現実のものとなる恐れもあ る．このような状況に鑑み，本稿では，LSI を含む電子回路のテスト技術に関する最大規模の国際会議 である国際テスト会議（ITC：International Test Conference）の昨年の会議（ITC2016）を通して，LSI テ ストの技術動向について示す．そして，車載 LSI 等で非常に重要となるテストによる LSI 品質の確保に 焦点を当てて，高品質テスト生成技術，テスト結果データ利用技術，及び，アナログ構造テスト技術に 関連する最新の研究内容について紹介する．