深層学習を用いた画像解析・異常検知に関する一考察

抄録

近年あらゆる分野において機械学習，特に深層学習の導入が進んでいる．本稿では，筆者がこれまで に実施してきた SEM 画像を用いた半導体デバイスの形状計測・欠陥検査への深層学習の応用事例を紹 介する．ネットワーク構成やパラメータのみならず，ウェーブレット変換等の他の技術と深層学習を結 合することで性能の改善が見られることを示す．また，画像解析や異常検知に関する最新の研究事例の 一部を紹介する．