安全工学
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労働衛生工学 特集
IC製造の作業琿境管理
中西 巍
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キーワード: IC, 作業環境, 化学物質
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1990 年 28 巻 6 号 p. 396-403

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抄録

先端技術のモデルケースであるIC製造は,新規性化学物質と循環換気回数のきわめて大きい特異な作業環境であるクリーンルームで行われる。労働衛生管理としては有害性の高い高圧ガス,反応副生物の管理が重要であり,ガス漏れ防止策・除害設備,局所排気装置の有効活用であることを述べる.作業環境管理と生産環境管理の並立性を強調し,低有害性代替物の導入の現状について紹介する.

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© 1990 特定非営利活動法人 安全工学会
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