安全工学
Online ISSN : 2424-0656
Print ISSN : 0570-4480
ISSN-L : 0570-4480
技術ノート
ITO ターゲット取扱い者のマスク面体顔面接触部位インジウム付着量についての研究
宮内 博幸山本 忍青木 隆昌
著者情報
ジャーナル フリー

2023 年 62 巻 3 号 p. 209-215

詳細
抄録

湿式のITO ターゲット研削作業者のマスクの面体について,顔面との接触部位へのインジウムが付着量,および増加させる要因等について調査した.研削作業者延べ41 名を対象に,調査項目は作業前後における面体へのインジウム付着量とマスク漏れ率,マスク内外のばく露濃度測定とした.その結果,ばく露濃度が高いほど,また,作業前の漏れ率が大きいほどインジウム付着量は増加傾向であった.付着量低減のためにはばく露濃度の低減化のほか,作業開始前のマスク漏れが無い確実な装着の必要性が示唆された.

著者関連情報
© 2023 特定非営利活動法人 安全工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top