化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第72年会
セッションID: R121
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主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
選択成長を利用したGaAs-MOVPEプロセスの表面反応機構解析
*宋 海政, 杉山 正和, 中野 義昭, 霜垣 幸浩
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キーワード: GaAs, MOVPE, 反応機構解析
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© 2007 社団法人　化学工学会
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