化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第40回秋季大会
セッションID: T302
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T204-T209, T213-T221, T301-T308, T313-T326
InGaAsP系MOVPEにおける表面吸着層速度過程のin situ観察とモデル化
*出浦 桃子霜垣 幸浩中野 義昭杉山 正和
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© 2008 社団法人 化学工学会
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