研究速報
MID工法によるEHDポンプの製造
2017 年 69 巻 6 号 p. 405-408
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2017 年 69 巻 6 号 p. 405-408
射出成形品の表面に金属薄膜を形成し，電気的機能と機械的機能を有したデバイスをMID（Molded Interconnect Device）と呼ぶ．筆者らはMID をセンサやアクチュエータなどのメカトロデバイスに応用することを目指しており，EHD（Electro hydro Dynamics）ポンプの機能を有するMID の開発の研究をしている．電場を印加すると流動する機能性流体があり，EHD ポンプはその流体を応用したものである．EHD ポンプは機械的な駆動部を必要とせず，小型ポンプとして活用できる．本報ではMID 工法を用いて流路内壁に2 重螺旋状の電極対を形成したEHD ポンプを製造し，印加電圧1.4kV において平均流量6.5cm3/min で流動することを確認した．
