アモルファス酸化物半導体薄膜

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869

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アモルファス酸化物半導体薄膜

神谷利夫, 雲見日出也, 細野秀雄

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ジャーナルフリー

2013 年 64 巻 7 号 p. 392-395

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.64.392

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© 2013 一般社団法人表面技術協会

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