ガラスインターポーザの研究開発動向

表面技術

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Print ISSN : 0915-1869
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ガラスインターポーザの研究開発動向

佐藤陽一郎

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キーワード: Glass Interposer, Glass Packaging Substrate, Ultra-thin Glass Handling, TGV(Through-Glass-Via)

ジャーナルフリー

2015 年 66 巻 2 号 p. 33-37

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.66.33

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