プラズマALDによる低温成膜技術

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
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プラズマALDによる低温成膜技術

吉田武史

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キーワード: Conformal Coating, Pin-Hole Free, Low Temperature Deposition

ジャーナルフリー

2017 年 68 巻 12 号 p. 679-682

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.68.679

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