CVDコーティングによる硬質膜の形成とその用途

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
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ISSN-L : 0915-1869

CVDコーティングによる硬質膜の形成とその用途

佐々木恒

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ジャーナルフリー

1990 年 41 巻 11 号 p. 1133-1140

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.41.1133

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