表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
ECRスパッタの現状
小野 俊郎, 五十嵐 賢, 片山 祐三
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1990 年 41 巻 9 号 p. 877-881

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