Si単結晶/SiO<sub>2</sub>多層薄膜の合成

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869

Si単結晶/SiO₂多層薄膜の合成

柴田典義, 石川由加里

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ジャーナルフリー

1995 年 46 巻 8 号 p. 688-691

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.46.688

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