表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
シールド型アークイオンプレーティングによる硬質窒化炭素薄膜の作製
瀧 優介北河 敏久高井 治
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1997 年 48 巻 3 号 p. 362-363

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© (社)表面技術協会
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