表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
ダイヤモンド陰極を低温にした直流放電プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成
阿部 匡朗廣澤 さくら山中 博広瀬 洋一
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1998 年 49 巻 6 号 p. 655-656

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© (社)表面技術協会
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