2016 年 89 巻 9 号 p. 287-293
環境対応ならびにプロセスを簡略化する目的で,ドライシステムによる表面処理とシリコーンオリゴマーの合成方法の検討を行った。その結果,シリコーンオリゴマーをシリカ上に被覆できることがわかった。2官能ならびに4官能のシランによって合成されたシリコーンオリゴマーを用いることで高いグラフト効率が得られることがわかった。さらにフェニル基を有するシリコーンオリゴマーを用いることで,トルエン/酢酸エチル混合溶媒に容易に分散することがわかった。そしてシリコーンオリゴマー被覆シリカ粒子を添加したポリイミドフィルムはシリコンチップとの接着性が高くなることがわかった。