Spring-8のナノテク総合支援プロジェクトにおける光電子顕微鏡の利用

抄録

文科省ナノテクノロジー総合支援プロジェクトの放射光による支援のためSpring-8では２つの異なる型の光電子顕微鏡を導入した。1つは静電レンズ型小型装置で（PEEMSPECTOR）主にはBL25SUに配置して、軟X線光電子顕微鏡としての広い利用を受け入れる。他は同じくELMITEC社のLEEM/PEEM-？システムでSpring-8の軟X線の特徴を生かした高度のナノテク利用に供する。