CVDダイヤモンド表面の酸化による仕事関数の変化

抄録

CVD成長させたダイヤモンドの表面化学吸着構造とその特異な電子親和性との関係を明らかにするため、種々の酸化状態と表面電位を高分解能Ｘ線光電子分光法及び走査型マクセル応力顕微鏡によりそれぞれ測定した。ダイヤモンド表面の酸化が進むとともに表面仕事関数は増大した。仕事関数は、表面吸着種が水素から酸素に変化することにより大きく変化するが、酸素の吸着構造の違いでは大きな差が見られなかった。