表面科学講演大会講演要旨集
第25回表面科学講演大会
セッションID: P19
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11月17日(木)
室温におけるSi(111)-7x7表面の飽和吸着酸素量の入射酸素分子の並進運動エネルギー依存性
*吉越 章隆盛谷 浩右寺岡 有殿成廣 英介
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抄録

室温におけるSi(111)-7x7表面の飽和吸着酸素量の入射酸素分子の並進運動エネルギー依存性(0.03eVから2.3eVの範囲)を放射光を用いた高分解能リアルタイム光電子分光により調べた結果を報告する。酸素分子の並進運動エネルギーが約0.5eV以上の領域で、飽和吸着酸素量が増加することを見出した。通常の酸素ガスの暴露では進行しない並進運動エネルギーの増加により誘起される新たな酸素吸着過程を示唆する結果を得た。

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© 2005 社団法人 日本表面科学会
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