高分解能透過型電子顕微鏡による単層および多層膜の膜厚評価

抄録

校正用標準物質として主要な開発項目である半導体系多層膜標準物質の開発のためにGaAs/AlAs多層膜等の試作を行い、高分解能透過型電子顕微鏡によって精密構造評価を行った結果を報告する。また、デジタル処理による膜厚の決定法について検討した結果を報告する。