表面科学講演大会講演要旨集
第26回表面科学講演大会
セッションID: 1B08
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11月6日(月)
高速・時間分解XPEDを用いた表面構造ダイナミクスに関する研究
*木坂 祐介天野 健太郎橋本 明奈野島  雅尾張 正則二瓶 好正
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抄録

 X線光電子回折(X-ray photoelectron diffraction)法は,固体表面の構造と化学状態情報を同時に取得できる効果的な分析法である。しかし、測定時間が長いため、表面ダイナミクスといった時間経過による構造変化を測定するのは困難であった。 そこで、測定迅速化のため、データ処理スキームといったソフトウェアの改良を施し、実際に半導体基板の再結晶化ダイナミクスを追跡した。

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© 2006 社団法人 日本表面科学会
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