主催: 日本表面科学会
東理大理工 東大生研
東大生研
東大環境安全研究センター
東理大理工
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X線光電子回折(X-ray photoelectron diffraction)法は,固体表面の構造と化学状態情報を同時に取得できる効果的な分析法である。しかし、測定時間が長いため、表面ダイナミクスといった時間経過による構造変化を測定するのは困難であった。 そこで、測定迅速化のため、データ処理スキームといったソフトウェアの改良を施し、実際に半導体基板の再結晶化ダイナミクスを追跡した。
日本表面真空学会学術講演会要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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