主催: 日本表面科学会
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我々は「バイオテクノロジー」の一つであるタンパク質超分子のフェリチン粒子を用いることにより、新しい微細加工技術の確立を目指している。今回はその工程を確立することを目的とした。第一にフェリチン粒子をSi基板へ吸着させる工程を確立させた。第二に基板に吸着したフェリチン粒子の任意に選択した領域を大気環境中で加工(Si基板から排除)し、Si基板表面を露出させることに成功した
日本表面真空学会学術講演会要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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