XANAMの開発 -試料X線吸収に伴う力応答の成分分析

抄録

次世代の高機能材料開発には、ナノ元素分析技術の実現が欠かせない。我々はX線支援非接触原子間力顕微鏡法（XANAM）という新しい表面ナノ元素マッピング法の開発を行っている。これまで試料-プローブ間の力場相互作用が試料元素の吸収端エネルギーのX線で変化する事を見出した。今回、力場相互作用が2種の力成分に分けられる事が、X線エネルギー毎のForce Curve測定等で示唆され、現在解析を行っている。