吸引プラズマエッチング法を用いたSiO<sub>2</sub>ダイアフラム構造作製技術の開発

表面科学学術講演会要旨集

2018年日本表面真空学会学術講演会

セッションID: 1Ca09

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.2018.0_21

会議情報

主催: 公益社団法人日本表面真空学会

11月19日（月）

吸引プラズマエッチング法を用いたSiO₂ダイアフラム構造作製技術の開発

*狩野諒, 菅洋志, 新堀俊一郎, 高橋賢, 久保利隆, 安藤淳, 清水哲夫, 宮脇淳

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