化学気相合成co-dopingダイヤモンドのカソードルミネッセンススペクトル

抄録

本研究では、マイクロ波プラズマ化学気相合成法により合成したco-dopingダイヤモンド薄膜の光学特性を、カソードルミネッセンス(CL)法を用いて調べた。窒素ドープダイヤモンドとボロン・窒素co-dopingダイヤモンドのCLスペクトルを比較することで、ボロンと窒素の同時添加がダイヤモンドのCLスペクトルに及ぼす影響について調べた。