白金触媒を用いたHF溶液中でのSiC表面の超平坦化

抄録

フッ酸（HF）溶液中で白金（Pt）等の触媒金属とシリコンカーバイド（SiC）基板とを対向させ、両者を面内で回転することにより、平坦性に優れたSiC表面を実現できることを見出した。本発表では、このプロセスによる平坦表面の創成原理を考察すると共に、得られた4H-SiC(0001)表面のステップ／テラス構造、及び、テラス内の原子構造を走査型トンネル顕微鏡により調査した結果について報告する。