真空・表面科学合同講演会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
セッションID: 4Ap-01
会議情報
主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
11月4日（木）
SiCナノ表面構造とヘテロエピタキシー
詳細
主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
傾斜SiC表面には高温水素エッチングにより周期的ナノファセット（ナノ表面）が形成される．(0001)面と(11-2n)ファセットが対を形成し周期化することにより安定化するために生じる．このナノ表面構造は周期やファセット高さを比較的自在に制御することが可能であるため，ヘテロ系成長表面場として有効である．III族窒化物半導体やグラフェンの形成において興味ある表面物理現象を観察することができる．
