表面ナノ構造の電子デバイスへの応用

抄録

アルミナナノチューブや酸化チタンナノチューブを陽極酸化により作製し、それらをそれぞれ単電子トランジスタや色素増感太陽電池へ応用した研究例を紹介する。陽極酸化というボトムアッププロセスとトップダウンプロセスである半導体微細加工技術を組み合わせたハイブリッドプロセスを用いることにより、室温で動作する単電子トランジスタや、高変換効率の色素増感太陽電池の作製に成功した。