主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
成蹊大理工
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HiPIMSは、高電力の短パルスを低い周波数で加え、高密度のプラズマを得る手法である。我々はこの手法においてパルスoff期間のターゲット電位を正に振ることで、薄膜の構造が著しく変化することを明らかにしてきた。今回はプローブ法によってプラズマの時間分解診断を行い、プラズマ電位がoff期電位に追随して上がる現象を確認した。これによって膜に入射するイオンのエネルギーが増し、膜構造が変化したと考えている。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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