表面科学学術講演会要旨集
真空・表面科学合同講演会
(第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会)
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
セッションID: 4Ba-04
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11月4日(木)
パルスoff時のターゲット電位を制御した高電力パルススパッタ (HiPIMS) におけるプラズマ分析
*日留川 紀彦中野 武雄馬場 茂
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抄録

HiPIMSは、高電力の短パルスを低い周波数で加え、高密度のプラズマを得る手法である。我々はこの手法においてパルスoff期間のターゲット電位を正に振ることで、薄膜の構造が著しく変化することを明らかにしてきた。今回はプローブ法によってプラズマの時間分解診断を行い、プラズマ電位がoff期電位に追随して上がる現象を確認した。これによって膜に入射するイオンのエネルギーが増し、膜構造が変化したと考えている。

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© 2010 社団法人 日本表面科学会/日本真空協会
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