チタン材料のガス放出特性に対する酸化効果の検討

表面科学学術講演会要旨集

真空・表面科学合同講演会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会

セッションID: 5P-004V

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.30.0.249.0

会議情報

主催: 日本真空協会、社団法人日本表面科学会

11月5日（金）

チタン材料のガス放出特性に対する酸化効果の検討

*町田光誠, 竹田将利, 栗巣普揮, 山本節夫, 石澤克修, 野村健, 村重信之

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抄録

精密化学研磨処理したJIS２種チタンのガス放出特性に対する酸化処理効果について，昇温脱離法を用いて調べた結果を報告する．

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© 2010 社団法人　日本表面科学会/日本真空協会

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