マルチスロットアンテナを用いたマイクロ波励起プラズマにおける波の空間構造の評価と制御

抄録

エッチングやアッシングなどのプラズマプロセスにおいては、高均一・大面積なプラズマの生成が必要である。本研究では、マルチスロット平板アンテナを用いて均一で制御性のよいプラズマの生成を目的とする。アンテナのスロット形状、設置高さなどの動的制御及び、電界分布の制御によりプラズマ中の電界モードに与える影響を調べ。方位角および半径方向モード数を変化させることで、プラズマの制御性の向上が図れることを示す。