Arプラズマ中における金属の電気特性に関する研究_VI_

抄録

これまでArプラズマ中に挿入した微小な金属片に流れる電流を測定し，Alに流れる電流が数十μs程度で減少してしまう現象について報告してきた．前回の報告ではイオンスパッタ処理後10μｓの範囲でならプラズマ空間電位における電流がWとAlで一致したことを報告した．ただし計測回路の周波数特性に起因する誤差が測定データに5%程度含まれていたため，この誤差を除去した測定結果について今回報告する．