RFスパッタリング法を用いて作製した薄膜SOFCのコンパクトセルスタック特性

表面科学学術講演会要旨集

真空・表面科学合同講演会
（第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会）
日本真空協会・社団法人日本表面科学会

セッションID: 4Bp-06

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.30.0.34.0

会議情報

主催: 日本真空協会、社団法人日本表面科学会

11月4日（木）

RFスパッタリング法を用いて作製した薄膜SOFCのコンパクトセルスタック特性

*増田将英, 長田昭義

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抄録

固体酸化物,　YSZ,　薄膜,　セルスタック,　RFマグネトロンスパッタリング

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