液相堆積した窒化炭素膜の結合状態および電気的特性の評価

抄録

アクリロニトリル中で液相堆積した窒化炭素膜を超大規模集積回路用の層間絶縁体材料として応用することを想定し、膜の結合状態および電気的特性の物性的評価を行った。陽極に堆積された膜は主にC＝NおよびC≡Nから構成された。窒化炭素膜を用いた金属‐絶縁体‐半導体キャパシタの容量‐電圧特性は蓄積および空乏を示し、液相堆積した窒化炭素膜を層間絶縁体材料として応用できる可能性が示された。