Si(111)-7x7表面の室温酸化における酸素分子の並進運動エネルギーに依存した表面形状

抄録

本発表では,酸素分子の並進運動エネルギーに依存したSi(111)表面形状の違いをSTMによって観察したので報告する．並進運動エネルギーを0.06eVおよび2.2eVとした飽和吸着時の300nm×300nmには,ステップとテラスが観測された．テラス上には7×7構造は観察されず，ランダムに分布する凸凹が観察された．2.2eVでは,大きく明るい凸部分が観測され酸化物成長の促進が示唆された．