N2運動エネルギー誘起Al(111)窒化におけるインキュベーション時間の表面温度依存性

神農 宗徹; 寺岡 有殿; 高岡 毅; ハリス ジェームズ; 吉越 章隆; 米田 忠弘

doi:10.14886/sssj2008.31.0.32.0

第31回表面科学学術講演会

セッションID: 15P-15

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.31.0.32.0

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主催: 公益社団法人日本表面科学会

12月15日（木）

N2運動エネルギー誘起Al(111)窒化におけるインキュベーション時間の表面温度依存性

*神農宗徹, 寺岡有殿, 高岡毅, ハリスジェームズ, 吉越章隆, 米田忠弘

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抄録

Al(111)表面の超音速N₂分子線による運動エネルギー誘起窒化では表面温度473 Kでは直線状の吸着曲線が得られるが、373 Kではインキュベーション時間が確認され、室温ではさらにインキュベーション時間が長くなった。このようなインキュベーション時間の存在と大きな表面温度依存性はN原子の拡散を示唆している

責任著者(Corresponding author)

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