多探針STM用プリアンプの性能向上

抄録

多探針STMでは、探針から探針に電流を流すために探針のバイアス電圧を変化したり、また試料表面の電位計測を探針で行う必要がある。しかし、配線の浮遊容量やトンネル抵抗により測定に悪影響を及ぼしていた。我々は、プリアンプに容量補償機能を実装することによって、測定精度を高め、測定帯域を伸ばすことに成功した。また、測定に最適な補償回路の調整方法や安定性も評価し、実用的なプリアンプの開発を行った。