ナノ線幅計測のためのAFM像探針形状効果補正

抄録

半導体デバイスにおける線幅の計測は、SEMで行うのが一般的であったが、デバ イスの微細化に伴い、より精密な計測法が求められている。AFMによる線幅の計 測には、探針の形状が有限であることにより、実際よりも太く見えてしまうとい う問題がある。この効果を補正するためには、探針先端の形状が既知である必要 がある。今回、我々は、より確からしい探針形状効果補正をするための指針を示す。