主催: 公益社団法人日本表面科学会
東京工業大学大学院総合理工学研究科 東京大学生産技術研究所
東京大学生産技術研究所
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ナノスケールの接触や剥離を調べるために、MEMS対向探針を透過電子顕微鏡の試料室内部に挿入し、対向探針の間で接触と剥離に関してその場観察を行った。シリコン対シリコや金対金、金対シリコンなどの材料系において、ナノスケールでの接触により真実接触点が形成され、その真実接触点が剥離するという摩擦のダイナミクスに重要な素過程について議論する。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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