MEMS対向針を用いたナノスケール接触・分離試験のTEMその場観察

抄録

ナノスケールの接触や剥離を調べるために、MEMS対向探針を透過電子顕微鏡の試料室内部に挿入し、対向探針の間で接触と剥離に関してその場観察を行った。シリコン対シリコや金対金、金対シリコンなどの材料系において、ナノスケールでの接触により真実接触点が形成され、その真実接触点が剥離するという摩擦のダイナミクスに重要な素過程について議論する。