集束イオンビームによるその場表面微細加工と電気伝導測定

抄録

平坦で一様な表面の電気伝導測定はこれまで行われてきたが、表面上の人工的な微細構造での測定は行われていない。我々はビスマス超薄膜に超高真空中で集束イオンビーム(FIB)微細加工を施し、その電気伝導特性をその場測定した。ビスマスを細線状に加工し、その抵抗のプローブ間隔依存性と細線幅依存性をとることで、細線のみに電流が流れていることが示された。当日は実験の詳細および表面へのダメージ等も含めた考察を行う。