チタン膜の陽極酸化過程に及ぼす電解液組成の影響

抄録

シリコン基板上に堆積した金属チタン膜を陽極酸化することにより酸化チタンナノチューブ膜の形成を行い、電解液中のフッ化アンモニウムおよび水の濃度が酸化チタンナノチューブ膜の形成過程に及ぼす影響を詳細に調べた。その結果、フッ化アンモニウムの水に対する相対濃度が金属チタン膜の陽極酸化過程に大きな影響を与えていることが分かった。